射频等离子增强化学气相沉积系统
型 号：P600
技术指标：
可制备直径260mm内的各种形状的工件，采用射频源，频率为13.56MHz。
主要功能及用途：
薄膜沉积，用于采用气相沉积的方法沉积Dlc等薄膜。
