激光扫描干涉仪
型 号：RENISHAW XL 80
技术指标：
1、系统精度：±0.5ppm
2、激光稳频精度：±0.05ppm
3、分辨率：0.001um
1、最大测量速度：4.0m/sec
2、最高采样频率：50KHz
主要功能、用 途：
1、检测速度从每小时几个微米到每分钟240米
2、采样频率从静态到每秒50000个数据点
3、测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量。
